ULVAC真空泵產(chǎn)生的廢氣如何處理？在工廠的ULVAC真空泵會揮發(fā)一部分廢氣，其實ULVAC真空泵本身是不會產(chǎn)生廢氣的，ULVAC真空泵排放的廢氣主要就是工作系統(tǒng)中所用的氣體成分，這部分的廢氣如何進行處理呢，其實簡單直接而且投資少的方式，就是采用炭吸附進行收集后凈化排放，利用的活性炭的吸附特性，可以對氣體進行吸附有害成分，從而達到一個好的凈化空氣的效果，本文小編帶您了解一下ULVAC真空泵廢氣處理采用的兩種方式。
　　ULVAC真空泵所產(chǎn)生的廢氣成分不單一，采用的兩種方式的工藝流程，可以使有機廢氣在收集后通過設(shè)備凈化，然后再經(jīng)過15米煙囪高空排放到大氣中。
　　1、離子凈化法：采用高壓發(fā)生器形成低溫等離子體，在平均能量約5eV的大量電子作用下，使通過凈化器的苯、甲苯、二甲苯等有機廢氣分子轉(zhuǎn)化成各種活性粒子，與空氣中的O2結(jié)合生成H2O、CO2等低分子無害物質(zhì)，使廢氣得到凈化。在處理過程中，當有機氣體進入冷離子體反應(yīng)室時，氣體被均勻分配到等離子反應(yīng)室（PRC）。反應(yīng)室分成149根六邊形管子，每根管子的中心有一根冠狀電線，與反應(yīng)室獨立隔開。
　　通過高壓線對反應(yīng)室導(dǎo)通可調(diào)節(jié)高壓，高壓導(dǎo)通到管子里的管狀電線上。由電線至管壁產(chǎn)生放電現(xiàn)象。一旦放電，等離子體電子就與氣體分子相撞擊，產(chǎn)生化學(xué)性活性核素，就是通常所說的激進和負荷載體。此外，還具有微型靜電沉淀器的功能，該裝置可以除塵。
　　2、炭吸附法：主要由活性炭層和承托層組成。活性炭具有發(fā)達的空隙，比表面積大，具有很高的吸附能力。正是由于活性炭的這種特性，它在水的深度處理中被廣泛應(yīng)用，如生活給水，污水后段的（凈水）深度處理等?；钚蕴渴褂靡欢螘r間后，吸附了大量的吸附質(zhì)，逐步趨向飽和，喪失了工作能力，嚴重時將穿透濾層，因此應(yīng)進行活性炭的再生或更換。
　　以上介紹了兩種處理ULVAC真空泵廢氣的方法，其實方式方法還有很多，主要是ULVAC真空泵廢氣的管道收集問題，需要設(shè)計好主管道的管徑，支管道的管徑等。